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Mikropositionierung: Rotationstische & Kipptische mit DC-Servo-, Schrittmotoren und Piezoantrieb
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Alle Modelle bieten Positionsauflösung unter 1/1000 Grad. Varianten mit geregelten DCServomotoren und Schrittmotoren sind erhältlich, entweder mit direktem Antrieb oder getriebeübersetzt.		Einige Modelle können mit passenden Piezoantrieben ergänzt werden und bieten dann Nanometergenauigkeit.


Linear Aktuatoren	Translationstische	2 bis 6-Achsen Tische	Rotationstische	6-Achsen Hexapoden	Miniatur Lineartische




Modelle	Beschreibung	Stellweg [°]	Belastbarkeit [kg]

M-116	Miniatur-Rotationstisch, kompakt mit freier Apertur, hochauflösend, passt auf M-110, M-111, M-112 und M-122 Lineartische	> 360 °	1,5

M-060 - M-062	Unbegrenzter Stellbereich, kompakt, freie Apertur, hochauflösend, Durchmesser 60 bis 120 mm	> 360	50 - 65

M-660	Schnelle Positionierung, besonders flaches Design	unbegrenzt	1


Kipptische



	Modelle	Beschreibung	Kleinste Scrittweite	Stellweg [°]	Belastbarkeit [kg]

	M-041 - M-044	Kipptische mit ein oder zwei Kippachsen, hochauflösend, optional mit Piezofeinantrieb	bis 0,5 µrad	±9	4, 5

	M-833	3-Achsenversteller: X, Z, und Goniometer (θy), Tripod Design	0,1 µm	4	50 mm (X, Z) 60°(θy)

	M-880.PD	Hochlast- 3-Achsen-Positioniertisch, XYθ_z Tripod-Design, für LCD- und Halbleiterinspektion	0,1 µm	20 dynamisch / 150 statisch	20 x 20 / 8°



	N-510K	Z/Kipp-Plattform für Nanopositionierung, Tripod-Design	-	1,3 / 10 mrad	20



	N-510	Tripod Z/Kipp Nanopositioniersystem mit NEXLINE^® Piezomotoren	-	1,3, 10 mrad	20

	N-510KHFS	Tripod Z/Kipp Nanopositioniersystem mit zusätzlicher Feinpositionierung	-	0,4 plus 40 µm	25


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