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Piezo-Syteme für's Vakuum
Neue Parallel-Kinematiken
Nano-Manipulator Aktuator
Piezo Z-Tisch für die Mikroskopie
Piezokomposit-Flächenwandler für Adaptronik
Nanopositionier-Linearmotor
Kreuztisch mit niedrigem Profil und grosser Apertur
PISeca: Capacitive Sensoren
Semi TIS Award für NEXLINE®
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Kapazitive Einelektroden Wegsensoren
Produkt-Übersicht
Piezo / Nanostelltechnik:   Piezo Tische    Piezo Kippspiegel    Piezoelektrische Aktuatoren    Piezo-Controller
Nanomesstechnik:    Kapazitive Sensoren
Mikrostelltechnik:    Positioniertische und Aktoren, Hexapoden    Motorsteuerungen    Faserpositionierung
Piezo Tutorium:   Piezo-Universität


Piezo / Nanopositionierung: Aktoren, Stelltische, Kippspiegel, Motoren, Controller & Verstärker
Piezo Nanostellsysteme (Piezotische) / Scanner
Einführung  |  Modellübersichten  |  Erfahrung, Sondersysteme  |  Eigenschaften, Vorteile, Anwendungen
  Piezo-Tische für
     hochdynamische
     Sub-nanometergenaue
     Bewegungen
  1 bis 6 Achsen
  Reibungsfreie Führungen
  Versionen mit
     Parallelkinematik,
     Parallelmetrologie,
     Kapazitiven Sensoren

Piezo-Nanofokussiersysteme
 

Kompakte Tische / Mehrachsentische

Z / X / XY / XYZ Tische


Piezo Scanning-Tische mit Apertur

Schnelle Kippspiegel / Aktive Optik
Einführung  |  Modellübersichten  |  Erfahrung, Sondersysteme  |  Kippspiegel in astronomischen Teleskopen
  Hochdynamische und
     rauscharme piezo-
     getriebene Systeme
  1 - 3 Achsen
  Anwendungsbeispiele: z.B.
     zur Bildstabilisierung oder
     Auflösungsverbesserung
  Bis zu 6° optischer
     Ablenkwinkel

Einachsen Plattformen/ Phasenschieber

Mehrachsen-Kippspiegel


Plattformen mit Apertur


3-Achsen Kippplattformen


Piezoaktoren (Chip-Aktoren, Stapel-, Ring-, Scheraktoren, Bieger, Rohre, Disktranslatoren)
Einführung  |  Modellübersichten  |  Erfahrung, Sondersysteme  |  Eigenschaften, Vorteile, Anwendungen
  Auflösungen bis in dem
     Sub-Nanometerbereich
  Belastbarkeit bis zu 100 kN
  Optional mit Gehäuse,
     Vorspannung, Sensoren
  PICMA® Aktoren:
     Multilayeraktoren mit
     vollkeramischer Isolation
  Chip-Aktoren, Stapel-, Ring-,
     Scheraktoren, Bieger,
     Rohre, Disktranslatoren

Hochlast-
Stapelaktoren

Multilayer-Piezostapel und Chips

Piezo-Biegeaktoren / Bimorphaktoren

Piezorohre und Ringaktoren
 

Hochauflösende PiezoWalk® Linearmotoren
Einführung  |  Modellübersichten  |  PiezoWalk® Drives (PDF)
  NEXLINE®
     Hochlast-Antriebe
  NEXACT® kompakte
     Linearmotoren
  Grosse Stellwege, hohe
     Kräfte
  Sub-nanometergenau

NEXACT®: kompakte, hochgenaue Linearantriebe / Motoren

NEXLINE®: Hochlast-
Aktoren zur Nanopositionierung

NEXLINE® Hochlast Antrieb zur Nanopositionierung


NEXLINE® Piezo-Hexapod 6-Achsen-Nanostellsystem
 

Schnelle Piezo-Linearmotoren / Positioniertische mit Ultraschall-Antrieb
Einführung  |  Modellübersichten  |  Eigenschaften und Vorteile von PILine Ultraschall-piezomotoren

  PILine® Ultraschallmotoren
     und Mikrostelltische mit
     Linearmotorantrieb
  Ultra-kompakt
  Geschwindigkeiten bis
     800 mm/s.

PILine® Mikro-Tisch
 



PILine® Ultraschall-
Piezolinearmotoren




Kompakte Stelltische mit PILine® Piezolinear-
motorantrieb



XY Piezomotor Kreuztisch® mit niedrigem Profil



Piezoelektronik: Steuerungen, Regelungen und Hochspannungs-Verstäker
Einführung  |  Modellübersichten  |  Erfahrung, Sondersysteme  |  Referenzliste: Empfohlene Controller
  Digitale und analoge
     Controller
  Verstärker in 100 V und
     1000 V Ausführung
  Bis 2000 W Leistung
  Tisch-, Modular- und
     OEM-Ausführung

Einkanal Tischcontroller


PCI Piezocontrollerkarte


Digitale Piezo-Controller


Modulares Piezo-Controllersystem

Piezo Tutorium
Nanopositionieren mit Piezos
  Eigenschaften und
     Anwendungen
     piezoelekrischer
     Positioniersysteme
  Grundlagen der
     Piezoelektrizität und
     Piezomechanik
  Parallel- und Seriell
     Kinematik/ Metrologie

Piezo-Tutorium Überblick


Grundlagen der Piezoelektrizität

Sensoren / Messtechnik


Parallel- und Seriell Kinematik/ Metrologie

Kapazitive Sensoren / Nanomesstechnik
Kapazitive Sensoren zur Positions- und Vibrationsmessung im Nanometerbereich / Auswerteelektronik
Einführung  |  Eigenschaften und Vorteile  |  Aufbau und Eigenschaften von 2-Elektroden PI Sensoren
  Bis 0,01 Nanometer
     Auflösung
  Kontaktlos
  Hohe Bandbreite
  Vakuum kompatibel
  Hohe Linearität
  Ideal für Parallelmetrologie

Zweielektrodensensoren


PISeca™ Einelektrodensensoren

PISeca™ Electronik


Mikrostelltechnik: Positioniertische und Aktoren, Hexapoden, Motorsteuerungen, Faserpositionierung
Hexapoden / Mikrostelltische und Aktoren
Einführung  |  Modellübersichten  |  Erfahrung, Sondersysteme  |  Eigenschaften, Vorteile, Anwendungen
  Hochpräzise Stellsysteme
     (Messtische): Linear,
     Rotations-, Hub- und
     Kipptische, Aktoren
  Tische mit integriertem
     Controller bzw. Verstärker
  Präzise Hexapod Parallel-
     Kinematiken
  6 Achsen, Sub-µm
     Auflösung
  Belastbarkeit bis 1000 kg
  Standard & OEM Designs

Hexapoden (6-Achsen Parallelkinematiken)

Mikrotisch-Serie


Hybrid Tische: Piezo+DC Servo

Präzisionsaktoren


Kipptische und Drehtische


Hubtische


XY Piezomotor Kreuztisch mit niedrigem Profil

Lineartische (Servo / Stepper)

Motorsteuerungen: DC Motoren, Schrittmotorsteuerungen, Piezo Motoren
Einführung  |  Modellübersichten  |  Eigenschaften, Vorteile, Anwendungen
  Servo Controller
  Schrittmotoren Controller
  Piezomotorsteuerungen
  Tisch, PC- und 19"-Geräte
  Automatisierungscontroller
  1 bis 18 Achsen
  Sonderversionen bis
     273 Achsen

Kompakte Servo- und Schrittmotor Steuerungen

PCI-Bus Controllerkarten

 

Servomotorcontroller

 

Piezomotorsteuerungen

 

Faserpositionierung
Einführung  |  Modellübersichten  |  Eigenschaften, Vorteile, Anwendungen
  Automatische
     6D-Justiersysteme
  Grob/Fein-Systeme
  Photometer
  PIMotion&Vision ™ System

6-Achsen Justiersysteme


XYZ-Faserjustiersysteme


Photometer


Mikrolineartische