E-509 Sensorauswertung / Regler

Servocontroller-Modul für bis zu 3 Achsen, Piezocontrollersystem E-500

Positionsregelung für Piezos mit DMS- und kapazitiven Sensoren
Linearitätsabweichung wird verbessert
Eliminiert Drift u. Hysterese
Notchfilter für höhere Bandbreite
Erhöht die Piezosteifigkeit
Hervorragende Linearität durch integrierte Linearisierungsfunktion (ILS)

E-509 ist ein Positionsregelmodul mit Sensorauswerteelektronik für Nanopositioniersysteme mit integrierten Positionssensoren. Es eliminiert automatisch Drift bzw. Hysterese, die im spannungsgesteuerten Piezobetrieb auftreten, und gleicht Positionsänderungen des Piezoaktors im Falle eines Lastwechsels durch augenblickliche Anpassung der Piezospannung aus.

Der Proportional-Integral-Positionsregler der E-509 Servocontroller-Module ist speziell für den Piezobetrieb optimiert. Sowohl Proportional- und Integralterm als auch die Regelbandbreite können individuell angepasst werden. Die integrierten Notchfilter (achsenselektiv einstellbar) verbessern die Stabilität und ermöglichen einen breitbandigeren Betrieb näher an der mechanischen Resonanzfrequenz des Piezosystems. Abhängig von der angeschlossenen Piezomechanik und von der Sensorart ist dabei eine Positioniergenauigkeit und Wiederholbarkeit im Nanometerbereich möglich.

Für hochauflösende kapazitive Einplattensensoren der Reihe PISeca stehen die Modelle E-509.E03 zur Signalauswertung und E-509.E3 als Servocontroller-Modul zur Verfügung.

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Datenblatt

Version / Datum

2018-02-13

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Version / Datum

2018-02-13

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Version / Datum

2018-03-29

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	E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A	E-509.S1 / E-509.S3
Funktion	Sensorauswertung- und Positionsregelelektronik für Piezomechaniken	Sensorauswertung- und Positionsregelelektronik für Piezomechaniken
Achsen	1 / 2 / 3	1 / 3

Sensor	E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A	E-509.S1 / E-509.S3
Reglertyp	P-I (analog) + Notchfilter	P-I (analog) + Notchfilter
Sensortyp	Kapazitiv	DMS
Sensorkanäle	1 / 2 /3	1 / 3
Sensorbandbreite	0,3 bis 3 kHz (m. Jumper einstellbar); bis 10 kHz auf Anfrage	0,3; 1; 3 kHz
Rauschfaktor	0,115 ppm/√Hz	-
Thermische Drift	<0,3 mV/°C	<3 mV/°C
Linearitätsabweichung	<0,05 %	<0,2 %

Schnittstellen und Bedienung	E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A	E-509.S1 / E-509.S3
Sensoranschluss	LEMO EPL.00.250.NTD	LEMO ERA.0S.304.CLL
Sensormonitorausgang	0 – 10 V	0 – 10 V
Sensormonitorbuchse	LEMO 6-pol. FGG.0B.306.CLAD56	BNC (1-kan.) / 3-pol. LEMO (3-kan.)
Unterstützte Funktionen	ILS	ILS
Display und Anzeigen	Overflow LED	Overflow LED

Umgebung	E-509.C1A / E-509.C2A / E-509.C3A	E-509.S1 / E-509.S3
Betriebstemperaturbereich	5 bis 50 °C	5 bis 50 °C
Abmessungen	7 T / 3 H	7 T / 3 H
Masse	0,35 kg	0,35 kg
Betriebsspannung	System E-500	System E-500
Max. Leistungsaufnahme	4 bis 8 W	4 bis 8 W

Sonderausführungen auf Anfrage.

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Datenblatt

Version / Datum

2018-02-13

pdf - 111 KB

Version / Datum

2018-02-13

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Version / Datum

2018-03-29

pdf - 488 KB

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Dokumentation

E-500 / E-501 Serie modularer Piezocontroller: Gehäuse mit Stromversorgung, Verstärkermodule (E-503, E-504, E-505, E-506, E-508), Sensor- und Sensorcontrollermodule (E-509), Display- und Interfacemodule (E-515, E-517).

Version / Datum

2013-07-11

pdf - 2 MB

Englisch

Dokumentation

E-509 Sensor / Servocontrollermodule

Version / Datum

2009-02-20

pdf - 1 MB

Englisch

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