PI stellt im aktuellen Katalog verschiedene Standard- und Sonderprodukte für Vakuumanwendungen vor, von relativ einfachen Servoaktoren bis hin zu komplexen 6-Achsen Hexapod (Stewart-Plattform) Systemen.
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| Piezo-Tische für die Nanopositionierung
P-915KLVS Vakuumkompatibler XYZ Piezo Nanopositionierer mit grosser Apertur
Der Hochlastscanner P-915KLVS wurde für hohe Lasten ausgelegt und bietet neben einer exzellenten Dynamik auch eine sehr grosse Apertur von 200 x 200 mm.
- Vakuumkompatibel bis to 10-6 hPa
- Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
- Exzellente Geradheit, <0,1 µrad Verkippung
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
Datenblätter und Zusatzinformation
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Hochdynamischer Scanner P-915KLVS mit sehr großer freier Apertur von 200 x 200 mm
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P-915KVPZ Vakuumkompatibler Piezo Z-Tisch
Präzision für hohe Lasten, mit großer Apertur.
- Stellweg 45 µm
- Große freie Apertur 273 x 273 mm
- Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
- Direktantrieb für höchste Steifigkeit und Dynamik
- Vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
- Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Datenblätter und Zusatzinformation
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Durch den Direktantrieb bietet der P-915KVPZ Z-Positionierer eine besonders hohe Steifigkeit
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P-733.2UD nicht magnetischer XY-Scantisch, für UHV bis 10-9 hPa
- Stellwege bis 100 x 100 µm in X,Y und bis 10 µm in Z
- Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
- Hochdynamische Versionen mit Direktantrieb
- Vakuumkompatible und Nicht-Magnetische Versionen
- Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
- Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- 50 x 50 mm Freie Apertur für Durchlicht-Anwendungen
Datenblätter und Zusatzinformation
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P-363 PicoCube™ XY(Z) Piezoscanner Dynamisches Nanopositioniersystem für die Rastersondenmikroskopie
- Hochlinearer Scanner für AFM / SPM
- Höchstauflösendes Manipulations-Tool für Bio-/Nanotechnologie
- Resonanzfrequenz 9,8 kHz
- Kapazitive Sensoren für höchste Genauigkeit
- Parallelmetrologie für automatische Führungsfehlerkompensation
- 50 Picometer Auflösung
- 5 x 5 x 5 µm Stellweg
- Vakuumausführungen
Datenblätter und Zusatzinformation
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| Mikropositioniertische
M-663K Schneller Vakuumkompatibler Mikrolineartisch, mit keramischem Piezolinearmotor
- Kleinster Mikropositioniertisch mit geregeltem Linearmotor und Linearencoder
- Stellweg 19 mm
- Vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
- Linearencoder für direkte Positionsauswertung
- Auflösung 0,1 µm
- XY-Kombination möglich
Datenblätter und Zusatzinformation
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Der M-663KVLS Mikropositioniertisch ist geeignet für Anwendungen im Vakuum bis 10-6 hPa
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M-682K Nichtmagnetischer flacher Lineartisch mit RodDrive Piezomotorantrieb
- Integrierter nichtmagnetischer PILine® RodDrive Hochleistungsmotor
- 50 mm Stellweg
- Integrierte Linearencoder mit 0,1 µm Auflösung
- Antriebskraft bis 6 N
- Geschwindigkeiten bis 100 mm/s mit Positionsregelung
- Niedrige Bauhöhe, kompakte Abmessungen
Datenblätter und Zusatzinformation
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Nichtmagnetische Sonderform des M-682KNMS mit RodDrive Antrieb
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| Hexapoden / 6-Achsen Präzisionsstellsysteme (Stewart-Plattform)
M-850KTVH Vakuum-Hexapod 6-Achsstellsystem
Parallelkinematik System für große Temperaturbereiche
- Sechs Freiheitsgrade, Arbeitet in jeder Orientierung
- Vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
- Vertikale Belastbarkeit 200 kg
- Wiederholbarkeit bis ±1 µm
- Encoderauflösung bis 5 nm
Datenblätter und Zusatzinformation
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Dieses Sondermodell ist für den Einsatz in einer Thermo-Vakuumkammer ausgelegt
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M-824 Kompakter 6-Achsen-Hexapod
Präzisions-Parallelkinematik-System auch für Vakuum, mit Controller
- Äußerst kompakte Bauform
- Stellwege bis 45 mm, Rotation bis 25 Grad
- Belastbarkeit bis 10 kg, selbsthemmende Version
- Auflösung bis 7 nm
- Kleinste Schrittweite bis 300 nm
- Wiederholbarkeit bis zu ±0,5 µm
- Geschwindigkeit bis 25 mm/s
Datenblätter und Zusatzinformation
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M-824.3DG Kompakt-Hexapod
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Linear-Aktoren
M-227K Hochauflösender Vakuumkompatibler DC-Mike Linearaktor
- Kompakte Bauform
- Vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
- Nichtdrehendes Kopfstück
- Geregelter DC-Motor
Datenblätter und Zusatzinformation
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Der vakuumkompatible Linearaktor M-227K ist mit Rotationsencoder und DC-Motor-Getriebeantrieb ausgestattet
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N-380, N-381 NEXACT® Linearaktor, Mikromanipulator, Piezostepper
- 30 mm Stellweg
- Neuartiger verschleißfreier Piezoschreitantrieb, ideal als Mikro-/Nanomanipulator
- Optional: Integrierter Linearencoder für höchste Genauigkeit mit 20 nm Auflösung
- Sehr hohe Beschleunigung, z.B. für Zell-Penetration
- Zwei Betriebsarten: Kontinuierlicher Schrittbetrieb und stufenloser, schneller Analogbetrieb für 30 pm Auflösung**
- Bis 10 N Stellkraft
- Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
- Kein Mikroschritt- oder Servozittern
- Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen
Datenblätter und Zusatzinformation
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N-381 Linearaktor zur Probenpositionierung und Manipulation für langen Stellweg,
hohe Geschwindigkeit und sehr hohe Auflösung, gezeigt mit C-861 Controller
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N-310 NEXACT® OEM OEM Miniatur Linearmotor/Aktor
- 20 mm Stellweg, variable Läuferlänge
- Kompakte Bauform, preisgünstiges Design
- 0,03 nm Auflösung**
- Bis 10 N Stellkraft
- Geringe Betriebsspannungen
- Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmentwicklung
- Nichtmagnetisches und vakuumkompatibles Funktionsprinzip
Datenblätter und Zusatzinformation
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N-310 Aktor mit E-861 Servo-Controller (Treiberelektronik integriert)
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N-214, N-215 NEXLINE® Linearmotor/Aktor
- 20 mm Stellweg
- 0,03 nm Auflösung ungeregelt und 5 nm geregelt
- Bis 400 N Stellkraft und 600 N Haltekraft
- Selbsthemmend im Ruhezustand
- Nichtmagnetisches und vakuumkompatibles Funktionsprinzip
Datenblätter und Zusatzinformation
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N-215 NEXLINE® Hochlast-Aktor, CD zum Grössenvergleich
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Andere Standartpositioniersystme mit Vakuum- Option
Piezo Aktuatoren
Prinzipiell sind alle PI-Piezoaktoren in vakuumtauglicher Ausführung erhältlich.
>> Piezoaktoren-Übersicht
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Piezoaktuatoren von PI zeichnen sich durch besonders lange Lebendsauer im Industrieeinsatz aus. Die hier gezeigten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert und in Querschnitten von 2 x 3 bis 10 x 10 mm erhältlich.
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M-038 Präzisionsdrehtisch mit unbegrenztem Stellbereich auch für Vakuumanwendungen
- Sehr hohe Auflösung
- Höchstgeschwindigkeit 90°/s
- Unbegrenzter Stellbereich
- Spielfrei vorgespannter Schneckenantrieb
- ActiveDrive™ DC-Motor, Schrittmotor oder manueller Antrieb
- Freie Apertur Ø 40,2 mm
- Vakuumkompatible Versionen bis 10-6 hPa erhältlich
Datenblätter und Zusatzinformation
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M-038.PD1 Rotationstisch
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M-413 · M-414 Hochlast-Präzisionsversteller
Preiswert und flexibel durch viele Antriebs- und Stellwegvarianten für hohe Lasten bis 50 kg
- Sehr preisgünstige, stabile Varianten für präzises Positionieren
- Stellwege von 100 bis 300 mm
- Auflösung bis 0,018 µm
- Kleinste Schrittweite bis 0,1 µm
- Vorgespannte Präzisionsgewindespindel oder Kugelumlaufspindel für hohe Geschwindigkeiten und Zyklenzahlen
- Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität
- Vakuumkompatible Versionen erhältlich
- M-403 und M-404 für geringere Lasten
Datenblätter und Zusatzinformation
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>> M-413 PDF-Datenblatt
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Die Längenvarianten der M-413 Hochlast-Linearversteller (v.l.n.r.): M-413.3PD, M-413.2PD und M-413.1PD mit 300 bis 100 mm Stellweg
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M-235 Hochlast Präzisions-Linearaktor Sehr dynamisch mit hohen Lasten bis 120 N über 50 mm
- Stellweg 20 mm bzw. 50 mm
- Kleinste Schrittweite bis 0,1 µm
- Nichtdrehendes Kopfstück
- Schneller Direktantrieb
- 120 N Druck-/Zugbelastbarkeit
- Querbelastbarkeit 100 N
- Kugelumlaufspindel für hohe Geschwindigkeiten und Zyklenzahlen
- Geregelte DC- und Schrittmotoren
- Kontaktlose End- und Referenzschalter
- MTBF >20.000 h
- Vakuumkompatible Versionen erhältlich bis 10-6 hPa
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Hochauflösende Linearaktoren mit Kugelspindelantrieb: M-235.2DG (oben) und M-235.5DG (unten)
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M-840 HexaLight™ 6-Achsen-Hexapod Parallelkinematik-System für hohe Geschwindigkeit bis 50 mm/s, mit Controller
- Sechs Freiheitsgrade, Stellwege bis 100 mm/60°
- Schnelles Ansprechverhalten
- Keine geschleppten Kabel: Höhere Zuverlässigkeit, reduzierte Reibung
- Belastbarkeit 10 kg, selbsthemmende Version M-840.DG
- Geschwindigkeit bis 50 mm/s
- Wiederholbarkeit bis zu ±2 µm
- Encoderauflösung bis 0,016 µm
- Wesentlich kompakter und steifer als Seriellkinematiken, höhere Dynamik
- Vakuumkompatible Versionen erhältlich
- Virtueller Pivotpunkt
- Leistungsfähiger Controller mit Vektorsteuerung
- MTBF 20.000 h
Datenblätter und Zusatzinformation
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M-840 HexaLight™ 6D-Mikropositioniersystem
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P-615 NanoCube® XYZ Piezo System Hochpräzises XYZ-Piezo-Nanopositioniersystem für große Stellwege
- Bis zu 420 x 420 x 300 µm Stellweg
- Auflösung 1 nm
- Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
- Freie Apertur Æ 10 mm und Faseroptikinterface, ideal für die Faserpositionierung
- Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- Versionen mit und ohne Sensor
- Vakuumkompatible Versionen bis 10-9 hPa
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
Datenblätter und Zusatzinformation
>> P-615 Online-Datenblatt
>> P-615 PDF-Datenblatt
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P-615 NanoCube® XYZ Nanopositioniersystem mit 420 x 420 x 300 µm Stellweg
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P-561 · P-562 · P-563 System PIMars™ Piezosystem
Hochpräzises Nanopositioniersystem für bis zu 6 Achsen
- Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
- Stellwege bis 300 x 300 x 300 µm
- Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
- Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
- Exzellente Scan-Ebenheit
- Hochdynamische XYZ-Version; 6-Achsenversionen auf Anfrage
- Freie Apertur 66 x 66 mm
- Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- UHV Versionen bis -9 hPa
Datenblätter und Zusatzinformation
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>> P-561 · P-562 · P-563 PDF-Datenblatt
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P-563.3CD PIMars™ Parallelkinematik Nanopositioniertisch: 300 µm x 300 µm x 300 µm Stellweg. Sondermodelle mit bis zu 6 Achsen.
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