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Datum: 03/2009
PI News: Vakuumkompatible Nanopositionier-Systeme: Piezo-Z Tische; XYZ Piezo Scanner; Vacuum Piezoaktor, Vakuum Hexapod, Vakuum Actuator, Vakuum Stage

Neue vakuumkompatible Nano- und Mikropositioniersysteme

PI stellt im aktuellen Katalog verschiedene Standard- und Sonderprodukte für Vakuumanwendungen vor, von relativ einfachen Servoaktoren bis hin zu komplexen 6-Achsen Hexapod (Stewart-Plattform) Systemen.



Piezo-Tische für die Nanopositionierung


P-915KLVS Vakuumkompatibler XYZ Piezo Nanopositionierer mit grosser Apertur

Der Hochlastscanner P-915KLVS wurde für hohe Lasten ausgelegt und bietet neben einer exzellenten Dynamik auch eine sehr grosse Apertur von 200 x 200 mm.

  • Vakuumkompatibel bis to 10-6 hPa
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
  • Exzellente Geradheit, <0,1 µrad Verkippung
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren

Datenblätter und Zusatzinformation

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P-915klvs Large Aperture Stage Hochdynamischer Scanner P-915KLVS mit sehr großer freier Apertur von 200 x 200 mm




P-915KVPZ Vakuumkompatibler Piezo Z-Tisch

Präzision für hohe Lasten, mit großer Apertur.

  • Stellweg 45 µm
  • Große freie Apertur 273 x 273 mm
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
  • Direktantrieb für höchste Steifigkeit und Dynamik
  • Vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
  • Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Datenblätter und Zusatzinformation

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P-915kvpz Z-Stage Durch den Direktantrieb bietet der P-915KVPZ Z-Positionierer eine besonders hohe Steifigkeit



P-733.2UD nicht magnetischer XY-Scantisch, für UHV bis 10-9 hPa

  • Stellwege bis 100 x 100 µm in X,Y und bis 10 µm in Z
  • Auflösung bis 0,1 nm durch kapazitive Sensoren
  • Hochdynamische Versionen mit Direktantrieb
  • Vakuumkompatible und Nicht-Magnetische Versionen
  • Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
  • Parallelmetrologie für die aktive Kompensation von Führungsfehlern
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • 50 x 50 mm Freie Apertur für Durchlicht-Anwendungen

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P-733 Vakuum Compatible Stage



P-363 PicoCube™ XY(Z) Piezoscanner Dynamisches Nanopositioniersystem für die Rastersondenmikroskopie

  • Hochlinearer Scanner für AFM / SPM
  • Höchstauflösendes Manipulations-Tool für Bio-/Nanotechnologie
  • Resonanzfrequenz 9,8 kHz
  • Kapazitive Sensoren für höchste Genauigkeit
  • Parallelmetrologie für automatische Führungsfehlerkompensation
  • 50 Picometer Auflösung
  • 5 x 5 x 5 µm Stellweg
  • Vakuumausführungen

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P-363 PicoCube





Mikropositioniertische

M-663K Schneller Vakuumkompatibler Mikrolineartisch, mit keramischem Piezolinearmotor

  • Kleinster Mikropositioniertisch mit geregeltem Linearmotor und Linearencoder
  • Stellweg 19 mm
  • Vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
  • Linearencoder für direkte Positionsauswertung
  • Auflösung 0,1 µm
  • XY-Kombination möglich

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M-663K Vakuum Compatible Stage Der M-663KVLS Mikropositioniertisch ist geeignet für Anwendungen im Vakuum bis 10-6 hPa



M-682K Nichtmagnetischer flacher Lineartisch mit RodDrive Piezomotorantrieb

  • Integrierter nichtmagnetischer PILine® RodDrive Hochleistungsmotor
  • 50 mm Stellweg
  • Integrierte Linearencoder mit 0,1 µm Auflösung
  • Antriebskraft bis 6 N
  • Geschwindigkeiten bis 100 mm/s mit Positionsregelung
  • Niedrige Bauhöhe, kompakte Abmessungen

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M-663K Vakuum Compatible Stage Nichtmagnetische Sonderform des M-682KNMS mit RodDrive Antrieb





Hexapoden / 6-Achsen Präzisionsstellsysteme (Stewart-Plattform)

M-850KTVH Vakuum-Hexapod 6-Achsstellsystem
Parallelkinematik System für große Temperaturbereiche

  • Sechs Freiheitsgrade, Arbeitet in jeder Orientierung
  • Vakuumkompatibel bis 10-6 hPa
  • Vertikale Belastbarkeit 200 kg
  • Wiederholbarkeit bis ±1 µm
  • Encoderauflösung bis 5 nm

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M-850K Vakuum Compatible Stage Dieses Sondermodell ist für den Einsatz in einer Thermo-Vakuumkammer ausgelegt



M-824 Kompakter 6-Achsen-Hexapod
Präzisions-Parallelkinematik-System auch für Vakuum, mit Controller

  • Äußerst kompakte Bauform
  • Stellwege bis 45 mm, Rotation bis 25 Grad
  • Belastbarkeit bis 10 kg, selbsthemmende Version
  • Auflösung bis 7 nm
  • Kleinste Schrittweite bis 300 nm
  • Wiederholbarkeit bis zu ±0,5 µm
  • Geschwindigkeit bis 25 mm/s

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M-824 Vakuum Compatible Hexapod M-824.3DG Kompakt-Hexapod



Linear-Aktoren

M-227K Hochauflösender Vakuumkompatibler DC-Mike Linearaktor

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M-227KVLA Vakuum Compatible Actuator Der vakuumkompatible Linearaktor M-227K ist mit Rotationsencoder und DC-Motor-Getriebeantrieb ausgestattet



N-380, N-381 NEXACT® Linearaktor, Mikromanipulator, Piezostepper

  • 30 mm Stellweg
  • Neuartiger verschleißfreier Piezoschreitantrieb, ideal als Mikro-/Nanomanipulator
  • Optional: Integrierter Linearencoder für höchste Genauigkeit mit 20 nm Auflösung
  • Sehr hohe Beschleunigung, z.B. für Zell-Penetration
  • Zwei Betriebsarten: Kontinuierlicher Schrittbetrieb und stufenloser, schneller Analogbetrieb für 30 pm Auflösung**
  • Bis 10 N Stellkraft
  • Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
  • Kein Mikroschritt- oder Servozittern
  • Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen

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N-380, N-381 NEXACT® Linear Actuator N-381 Linearaktor zur Probenpositionierung und Manipulation für langen Stellweg, hohe Geschwindigkeit und sehr hohe Auflösung, gezeigt mit C-861 Controller



N-310 NEXACT® OEM OEM Miniatur Linearmotor/Aktor

  • 20 mm Stellweg, variable Läuferlänge
  • Kompakte Bauform, preisgünstiges Design
  • 0,03 nm Auflösung**
  • Bis 10 N Stellkraft
  • Geringe Betriebsspannungen
  • Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmentwicklung
  • Nichtmagnetisches und vakuumkompatibles Funktionsprinzip

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N-310 NEXACT® Linear Actuator N-310 Aktor mit E-861 Servo-Controller (Treiberelektronik integriert)



N-214, N-215 NEXLINE® Linearmotor/Aktor

  • 20 mm Stellweg
  • 0,03 nm Auflösung ungeregelt und 5 nm geregelt
  • Bis 400 N Stellkraft und 600 N Haltekraft
  • Selbsthemmend im Ruhezustand
  • Nichtmagnetisches und vakuumkompatibles Funktionsprinzip

Datenblätter und Zusatzinformation

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N-215 Linear Actuator N-215 NEXLINE® Hochlast-Aktor, CD zum Grössenvergleich





Andere Standartpositioniersystme mit Vakuum- Option

Piezo Aktuatoren
Prinzipiell sind alle PI-Piezoaktoren in vakuumtauglicher Ausführung erhältlich.

>> Piezoaktoren-Übersicht





Piezo Actuators Piezoaktuatoren von PI zeichnen sich durch besonders lange Lebendsauer im Industrieeinsatz aus. Die hier gezeigten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert und in Querschnitten von 2 x 3 bis 10 x 10 mm erhältlich.



M-038 Präzisionsdrehtisch mit unbegrenztem Stellbereich auch für Vakuumanwendungen

  • Sehr hohe Auflösung
  • Höchstgeschwindigkeit 90°/s
  • Unbegrenzter Stellbereich
  • Spielfrei vorgespannter Schneckenantrieb
  • ActiveDrive™ DC-Motor, Schrittmotor oder manueller Antrieb
  • Freie Apertur Ø 40,2 mm
  • Vakuumkompatible Versionen bis 10-6 hPa erhältlich

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M-038 Rotation Stage M-038.PD1 Rotationstisch



M-413 · M-414 Hochlast-Präzisionsversteller Preiswert und flexibel durch viele Antriebs- und Stellwegvarianten für hohe Lasten bis 50 kg

  • Sehr preisgünstige, stabile Varianten für präzises Positionieren
  • Stellwege von 100 bis 300 mm
  • Auflösung bis 0,018 µm
  • Kleinste Schrittweite bis 0,1 µm
  • Vorgespannte Präzisionsgewindespindel oder Kugelumlaufspindel für hohe Geschwindigkeiten und Zyklenzahlen
  • Grundprofil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität
  • Vakuumkompatible Versionen erhältlich
  • M-403 und M-404 für geringere Lasten

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M-413 Linear Stage Die Längenvarianten der M-413 Hochlast-Linearversteller (v.l.n.r.): M-413.3PD, M-413.2PD und M-413.1PD mit 300 bis 100 mm Stellweg



M-235 Hochlast Präzisions-Linearaktor
Sehr dynamisch mit hohen Lasten bis 120 N über 50 mm

  • Stellweg 20 mm bzw. 50 mm
  • Kleinste Schrittweite bis 0,1 µm
  • Nichtdrehendes Kopfstück
  • Schneller Direktantrieb
  • 120 N Druck-/Zugbelastbarkeit
  • Querbelastbarkeit 100 N
  • Kugelumlaufspindel für hohe Geschwindigkeiten und Zyklenzahlen
  • Geregelte DC- und Schrittmotoren
  • Kontaktlose End- und Referenzschalter
  • MTBF >20.000 h
  • Vakuumkompatible Versionen erhältlich bis 10-6 hPa

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M-235 Hochauflösende Linearaktoren mit Kugelspindelantrieb: M-235.2DG (oben) und M-235.5DG (unten)



M-840 HexaLight™ 6-Achsen-Hexapod Parallelkinematik-System für hohe Geschwindigkeit bis 50 mm/s, mit Controller

  • Sechs Freiheitsgrade, Stellwege bis 100 mm/60°
  • Schnelles Ansprechverhalten
  • Keine geschleppten Kabel: Höhere Zuverlässigkeit, reduzierte Reibung
  • Belastbarkeit 10 kg, selbsthemmende Version M-840.DG
  • Geschwindigkeit bis 50 mm/s
  • Wiederholbarkeit bis zu ±2 µm
  • Encoderauflösung bis 0,016 µm
  • Wesentlich kompakter und steifer als Seriellkinematiken, höhere Dynamik
  • Vakuumkompatible Versionen erhältlich
  • Virtueller Pivotpunkt
  • Leistungsfähiger Controller mit Vektorsteuerung
  • MTBF 20.000 h

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M-840 hexapod M-840 HexaLight™ 6D-Mikropositioniersystem



P-615 NanoCube® XYZ Piezo System Hochpräzises XYZ-Piezo-Nanopositioniersystem für große Stellwege

  • Bis zu 420 x 420 x 300 µm Stellweg
  • Auflösung 1 nm
  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
  • Freie Apertur Æ 10 mm und Faseroptikinterface, ideal für die Faserpositionierung
  • Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • Versionen mit und ohne Sensor
  • Vakuumkompatible Versionen bis 10-9 hPa
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen

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M-413 Linear Stage P-615 NanoCube® XYZ Nanopositioniersystem mit 420 x 420 x 300 µm Stellweg



P-561 · P-562 · P-563 System PIMars™ Piezosystem Hochpräzises Nanopositioniersystem für bis zu 6 Achsen

  • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
  • Stellwege bis 300 x 300 x 300 µm
  • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Exzellente Scan-Ebenheit
  • Hochdynamische XYZ-Version; 6-Achsenversionen auf Anfrage
  • Freie Apertur 66 x 66 mm
  • Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • UHV Versionen bis -9 hPa

Datenblätter und Zusatzinformation

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P-561 · P-562 · P-563 P-563.3CD PIMars™ Parallelkinematik Nanopositioniertisch: 300 µm x 300 µm x 300 µm Stellweg. Sondermodelle mit bis zu 6 Achsen.

 


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PI ist ein international führender Hersteller von Mikrostelltechnik und Weltmarktführer im Bereich piezoelektrischer Nanopositioniersysteme. PI entwickelt für OEM- und Forschungskunden mit Anwendungen u.a. in der Halbleitertechnik, Nanotechnologie, Biotechnologie und Lasertechnik/Optik.
PI ist seit 1994 ISO 9001 zertifiziert hat 40 Jahre Erfahrung in der Entwicklung hochpräziser Motion-Control Systeme mit piezoelektrischen und elektromagnetischen Antrieben.
PI beschäftigt weltweit über 700 Mitarbeiter und verfügt über drei Fertigungsstandpunkte sowie acht internationale Niederlassungen.