| Präzisionspositioniersysteme und -aktoren von PI kommen in vielen optischen, kontaktlosen Inspektionssystemen wie auch in Nanometrologieanwendungen mit Kontakt zum Einsatz. Sie bieten für alle technologischen Neuerungen Präzision |
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bis in den Subnanometerbereich sowie extrem gleichförmige Bewegung mit Ebenheitswerten von wenigen bis unter Nanometern. Die Linearität der Rasterung wird durch die digitale Signalverarbeitung mit Hilfe hochentwickelter |
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Algorithmen noch um mehrere Größenordnungen verbessert, was auch die Auswanderung auf subatomare Werte begrenzt. Kapazitive Positionssensoren von PI erfassen Bewegungen, kleiner als Nanometer, mit sehr hoher Bandbreite |
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Piezoaktorik und Nanometrologie- Sensoren von PI sind auch ideale Bauelemente für Mikro-/Nano-Indent-Verfahren sowie für Nanotribologie-Versuche. |
