| Integrationsdichte und die Größe der Komponenten auf IC-Chips halten sich nach wie vor an das Mooresche Gesetz. Entsprechend hoch sind auch die Anforderungen an Nanopositioniersysteme und Präzisionssteuerungen in der Produktionskette und in der Inspektion, |
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wo die 10- bis 1000- fach höhere Genauigkeit gefordert ist. Schwingungen, Positionsfehler und Drift werden bis zur Größenordnung eines Atomdurchmessers kontrolliert. Mit herkömmlichen Positioniersystemen ist diese Präzision und Stabilität nicht zu erreichen. |
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PI bietet eine breite Palette piezobasierter Lösungen; von langlebigen Piezokeramiken zur Schwingungskontrolle bis zu den hochpräzisen NEXLINE® Nanopositionierantrieben für lange Stellwege. Außerdem bietet PI Piezokipp- Plattformen zur schnellen Strahlstabilisierung und |
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-korrektur, flexuregeführte Piezotische für Nanometrologie Anwendungen, spezielle Systeme für Maskenausrichtung, und hybride Nanopositionierversteller mit langen horizontalen oder vertikalen Stellwegen. Kapazitive Sensoren von PI messen mit großer Bandbreite bis in den Nanometerbereich. |
