Mikropositionierung
Bewegungen mit Mikrometer- und Sub-Mikrometer-Auflösung, typischerweise motorgetrieben mit Stellwegen bis zu einigen 100 Millimetern.
Nanopositionierung
Bewegungen mit Nanometer- und Sub-Nanometer-Auflösung, typischerweise piezogetrieben; spiel-, haft- und gleitreibungsfrei, mit extrem kurzer Ansprechzeit und Stellwegen bis zu einigen 100 Mikrometern.
NanoAutomation
Nanopositionierung auf einer Millisekunden-Zeitskala. |