PILine® Piezomotoren
Basieren auf einem neuen Ultra-schallkeramikantrieb. Sie sind leicht, kompakt, selbsthem-mend, vakuumkompatibel und bieten eine Reihe weiterer Vor-teile gegenüber klassischen Linearmotoren. |
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Kapazitive Sensoren
Messen kontaktlos und absolut, mit Sub-Nanometer-Auflösung, hoher Linearität und Bandbreite. Ideal geeignet für Parallelmet-rologie-Konfigurationen. |
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PICMA® Aktoren
Sind monolithische Multilayer-piezoaktoren mit vollkeramischer Isolation. Unempfindlich gegen Luftfeuchtigkeit, höhere Lebens-dauer und breiterer Arbeitstem-peraturbereich als bei konven-tionellen Multilayerpiezoaktoren. Ideal für den Vakuumeinsatz. |
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NEXLINE® Antriebe
Das neuartige, patentierte NEXLINE® Piezowalk® Antriebs- prinzip vereinigt grosse Stell- wege über mehrere zehn Milli-meter, hohe mechanischer Steifigkeit und Haltekraft und extrem hohe Auflösung <0,1 Nanometer. |
Parallelkinematik / Hexapoden
Ermöglicht die Konstruktion von kompakteren, steiferen Mikro- und Nanopositioniersystemen mit reduzierter bewegter Masse für schnelleres Ansprechverhal-ten. Keine Akkumulation von Füh-rungsfehlern, keine geschleppten Kabel. |
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Parallelmetrologie
Überwacht alle kontrollierten Freiheitsgrade gleichzeitig und ermöglicht höhere Mehrachsen-genauigkeit. Parallelmetrologie ist eine Voraussetzung für aktive Führungen. |
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Aktive Führung
Kompensiert Achsübersprechen und Führungsfehler mit Genauig-keiten bis in den Sub-Nanome-ter- und Sub-Mikroradian-Bereich. |
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Dynamische Digitale Linearisierung
Reduziert Phasenverschiebun-
gen und Trackingfehler in schnellen Scan- und Positionieranwendungen mit Piezo-Nanostellsystemen. Verbessert die dynamische Linearität um bis zu 3 Größenordnungen. |
InputShaping
Verhindert eigenangeregte Vib-rationen auch außerhalb des Regelkreises. Erlaubt schnellst-mögliches Einschwingen inner-halb einer Periode der Reso-nanzfrequenz. |
