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Übersicht

Simultane Tests optischer Komponenten in der Siliziumphotonik

Schnelle und präzise XYZ-Versteller für die Faserkopplung 

Die Siliziumphotonik stellt neue Herausforderungen an die Fertigung von Komponenten einschließlich deren Test vor dem Schneiden des Wafers. Das Testverfahren entspricht dabei grundsätzlich den bekannten elektrischen Verfahren, ist aber bei den optischen Bauelementen anspruchsvoller hinsichtlich der Anforderungen an die Genauigkeit.

Die Komponenten für die Verarbeitung und Übertragung optischer Signale besitzen einen oder mehrere Ein- und Ausgänge. An jeden einzelnen muss für das Packaging oder Testverfahren eine optische Faser mit einer Genauigkeit von wenigen zehn Nanometern justiert werden. Erfolgt dieser sogenannte Alignment-Prozess sequentiell, wird eine Serienproduktion aufgrund des Zeitfaktors schnell unwirtschaftlich. Infolge dessen wird eine Lösung für einen ein- und ausgangsseitig simultanen Kopplungsprozess benötigt, die die Testzeit der Bauteile verkürzt.

PI kann aus seinem Portfolio an präzisen Positioniersystemen spezifische Lösungen zur Faserkopplung anbieten. Das Video zeigt einen Demonstrationsaufbau für einen Komponententest, in dem ein im Wafer integrierter Waveguide durch eine Monomodefaser simuliert wird. An die Faserenden werden über präzise XYZ-Verstelleinheiten Fasern mit Linsen gekoppelt. 

Das Positioniersystem besitzt eine schnelle Scangeschwindigkeit und kann das Alignment in mehreren Freiheitsgraden ausführen – parallel an Ein- und Ausgang.

Die Stellwege in XYZ betragen 25 mm für die erste Ausrichtung der Fasern und 100 µm für den positionsgeregelten Scan. 

Als Ansteuerung dient die modular ausbaubare Motion-Controller PlattformE-712 mit integrierten Alignmentroutinen, die für diese Aufgabe speziell angepasst wurde und sowohl sechs motorisierte als auch sechs piezoaktorische Achsen ansteuern kann.

PI P-611.3S
P-611.3 NanoCube® XYZ-System: kompaktes mehrachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung und Faserjustage
Produkte

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Kompakter Linearstelltisch
XY(Z)-Kombinationen mit vielen Antriebs- und Stellwegvarianten
Kompakter Linearstelltisch
Kompakt und sehr schnell mit direkter Positionsmessung
NanoCube® XYZ-System
Kompaktes mehrachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung und Faserjustage
6-Achsen-Justiersystem
Ideal für Faserkopplung
6-Achsen-Miniatur-Hexapod
Schnell, kompakt und höchst präzise
Digitaler Piezocontroller
Modulares System mit bis zu 6 Achsen für höchste Präzision

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