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Übersicht

Schwingungsisolation

Mit einer aktiven Schwingungsisolation reduzieren sich die Einschwingzeiten erheblich, die Präzision bei Mess- oder Fertigungsabläufen steigt und höhere Durchsatzraten sind realisierbar. Davon profitieren Laboraufbauten, die Lasertechnologie, der Maschinenbau sowie optische Messtechnik, Mikroskopie und Mikrobearbeitung.

Vibrationen erfassen und kompensieren

Aktive Schwingungsisolatoren erfassen zunächst mit Hilfe integrierter Beschleunigungssensoren auftretende Vibrationen. Die zur Kompensation notwendigen Gegenbewegungen erzeugen Piezoaktoren, die von einem Echtzeit-Digital-Signal-Prozessor angesteuert werden. Dieser bietet die notwendige Rechenleistung für die extrem schnellen Berechnungen zur Schwingungskompensation.

Sematech Test Pattern
Testmuster mit einer Linienbreite von 45 nm, ohne (Before) und mit (After) STACIS-Schwingungsisolation (Bild: Sematech)
PI PICMA Stack Collection
Patentierte Technologie für höchste Betriebs- und Lebensdauer: PICMA®

Piezoaktoren: schnell, stark, genau

Aufgrund ihrer spezifischen Eigenschaften bieten Piezoaktoren für den Einsatz in den Isolatoren die besten Voraussetzungen: Sie arbeiten mit Ansprechzeiten von wenigen Mikrosekunden und Auflösungen im Sub-Nanometerbereich. Gleichzeitig sind große Beschleunigungen von mehr als 10.000 g erreichbar und Lasten bis zu mehreren Tonnen lassen sich bewegen.

Da der Piezoeffekt auf elektrischen Feldern basiert, erzeugen Piezoaktoren keine Magnetfelder und werden auch nicht von solchen beeinflusst. Sich ändernde Umgebungstemperaturen beeinträchtigen die Piezoaktoren nicht und es gibt keinen mechanischen Verschleiß, da die Bewegung auf kristallinen Festkörpereffekten basiert.

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Whitepaper: Schwingungsisolation für Industrie, Labor und Forschung
Piezoaktoren verbessern Wirkung, Zuverlässigkeit und Lebensdauer
Pdf 670 K WP pi1049D