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Übersicht

In-situ Untersuchung des Wachstums dünner Schichten im Hochvakuum

An Synchrotron-Strahlungsquellen lassen sich Röntgenbeugung und Reflexionen der Strahlung nutzen, um im Rahmen moderner Materialforschung die strukturellen Eigenschaften dünner Filme während der Schichtbildung zu untersuchen. Für eine hochpräzise Positionierung der Proben bieten parallelkinematische Hexapoden beste Voraussetzungen.

SURFACE Sample Manipulator
Ein Hexapod, der für den Einsatz im Hochvakuum ausgelegt ist, übernimmt die Positionierung der Probe in Relation zu den einfallenden Röntgenstrahlen (Bild: SURFACE systems+technology GmbH & Co. KG) 

Hexapod im Probenmanipulator

In einem kompakten PLD-System (Pulsed Laser Deposition System) übernimmt ein für den Einsatz im Hochvakuum ausgelegte Hexapod die Positionierung der Probe in Relation zu den einfallenden Röntgenstrahlen. Die Probe kann so um ±5° mit einer Auflösung von 0,001° um die X- und Y-Achse geschwenkt werden.

Zum Ausgleich unterschiedlicher Substratdicken lässt sie sich zudem in Richtung der Z-Achse, also senkrecht zur Probenoberfläche, um bis zu 3 mm verschieben. Bewegungen von ±6 mm in X- und Y-Richtung ermöglichen Scans an verschiedenen Stellen der Probenoberfläche. Der kompakte Hexapod ist bei einem Durchmesser von nur 130 mm lediglich 115 mm hoch.

Produkte

Produkte

6-achsige Mikro- und Nanopositioniersysteme in unterschiedliche Ausführungen des parallelkinematischen Designs für die Elektronikfertigung, Werkzeugkontrolle oder Medizintechnik. Dabei können die Mikroroboter je nach Ausführung ohne weiteres Lasten von bis zu 1000 kg auf den Mikrometer genau positionieren.

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PI Hexapod H-811

Downloads

Whitepaper: Hexapoden bewähren sich in Teilchenbeschleunigern
Dünnste Schichten in der Vakuumkammer aufbringen
Pdf 793 K WP pi1118D
Broschüre: PI Hexapoden Pdf 4.1 M BRO14D