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Miniaturpositioniertische der LPS-24-Serie für Hochvakuum: Klein und subnanometergenau für 10-6 hPa

Klein und hochauflösend für Vakuum

2014-07-06

Vakuumversionen der LPS-24-Serie

Die nur 24 mm breiten Miniaturtische erreichen unter Vakuumbedingungen bis 10-6 hPa eine subnanometergenaue Auflösung über 15 mm Stellweg.

Damit erfüllen sie wichtige Anforderungen für die Positionierung optischer und mechanischer Komponenten oder die Justierung und Manipulation von Proben im Vakuum, die nur einen begrenzten Bauraum zulassen.

Die Positionsmessung erfolgt mit einem integrierten Linearencoder mit 150 nm oder 20 nm Auflösung. Mit dem PI eigenen Linearencoder PIOne kann sogar eine Auflösung von 0,5 nm und eine kleinste Schrittweite von 1 nm erreicht werden.

Auf Anfrage ist eine Vakuumversion des LPS-24 für bis 10-9 hPa erhältlich. Diese ermöglicht kleinste inkrementelle Bewegungen von 40 nm.

Reibungsloser Nanoschrittbetrieb

PI setzt in der Verstellerserie LPS-24 direktgetriebene NEXACT® Schreitantriebe ein. Sie verbinden die Vorteile von Piezoaktoren hinsichtlich Auflösung, Steifigkeit und Vakuumtauglichkeit mit langen Stellwegen. Ein positionsgeregeltes System mit NEXACT® Antrieb ermöglicht einen stetigen und gleichmäßigen Nanoschrittbetrieb entlang eines vorgegebenen Bewegungsprofils bis zur Zielposition. Damit erreichen die LPS-24 Linearversteller nicht nur eine hohe Positioniergenauigkeit, sondern auch eine hohe Bahntreue.

Während der Schreitbewegung beruht der Kontakt zwischen den einzelnen Aktoren und dem bewegten Läufer ausschließlich auf Haftreibung. Dies bewirkt außerdem eine deutliche Steigerung der Lebensdauer und Zuverlässigkeit der Antriebe.

Einfache Systemanbindung und umfangreiche Software

Mit dem Controller E-861 können die Miniaturpositioniertische einfach und präzise betrieben werden: Er unterstützt die Bewegungsarten des Piezoschreitantriebs und ist auf die Anforderungen der Mechanik abgestimmt. Aufgrund der Vernetzbarkeit lassen sich bis zu 16 Controller gleichzeitig über eine Computerschnittstelle ansteuern.

Alle Parameter können per Software eingestellt und überprüft werden. Die Inbetriebnahme und Systemkonfiguration erfolgt über das im Lieferumfang enthaltene Programm PIMikroMove®, die Anbindung an die kundenseitige Software ist über LabVIEW Treiber und DLLs möglich.

Weiterführende Informationen finden Sie unter:
>> LPS-24 Miniatur-Positionierer