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Piezotechnik, Piezosysteme,
Nanostelltechnik, Mikrostelltechnik
Piezoelektrische-NanoPositioniersysteme................................................................................. 1
Piezoelektrische-NanoPositioniersysteme im Überblick......................................................... 2
Einführung zu Piezoelektrische-NanoPositioniersystemen.................................................... 2
P-720/P-721 PIFOCâ Mikroskopobjektiv-NanoPositioniersysteme........................................ 4
P-722/P-723 PIFOCâ Mikroskopobjektiv-NanoPositioniersysteme........................................ 6
P-780 Miniatur-Piezo-Tisch..................................................... 8
P-752.1C, P-752.21C Miniatur-Piezo-Tisch............................ 9
P-753 LISA Piezo-Tisch /Piezo-Aktor ........................................................ 10
P-750 Piezo-Tisch................................................................. 11
P-730, P-731 Piezo-Kreuztisch, XY Präzisionstisch............................................... 12
P-770 Kreuztisch-Piezosystem mit grosser Apertur................................................ 13
P-500 Mehrachsen-Piezo-Tisch............................................ 14
P-762 Piezo-Kreuztische, XYZ-Tisch, XYZ-Rotations-Tische............................................ 15
P-280.xx Piezo-Tisch............................................................ 17
P-281, P-282 XY- und XYZ-Piezo-Tisch................................ 18
P-287 Piezoelektrisches Vertikal- und Kipp-NanoPositioniersystem.................................... 19
P-290.00 Piezoelektrischer Z-Makro-Translator....................................................................... 20
Hinweise (Technische Daten)............................................................................................... 21
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© 1998 Physik
Instrumente (PI) GmbH & Co
Piezoelektrische Nanopositioniersysteme von PI bieten die höchste Genauigkeit, die sich mit mechanischen Stellelementen erreichen läßt. Charakteristika von PI-NanoPositioniertischen sind aktive und passive Präzisionsführungssysteme (Sub-Nanometer und Sub-µrad Führungsgenauigkeit), Sub-Nanometer-Auflösung, extrem schnelles Einschwingverhalten. Einachstische, Kreuztische XYZ-Tische und Systeme mit bis zu 6 Freiheitsgraden werden angeboten. Zum Betrieb stehen eine große Auswahl an analogen und digitalen Controllern zur Verfügung.
Piezoelektrische-Nanopositioniersysteme von PI sind Stellelementen mit konventionellen Führungssystemen (Kugellagern, Kreuzrollenlagern etc.) in Auflösung, Genauigkeit und Führungsgenauigkeit bei weitem überlegen. Auf Grund der prinzipbedingten Reibung sind diese Stellelemente auf Anwendungen beschränkt, die Wiederholbarkeit im Bereich von 0,5 bis 0,1 µm benötigen, während PI-Piezo-Nanopositioniersysteme in Auflösung und Wiederholbarkeit um Größenordnungen besser sind.
Unser weltweit größtes Angebot an Ein- und Mehrachsen-Piezosystemen für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen umfaßt, neben den in diesem Katalog vorgestellten Baureihen, auch Sonderanfertigungen nach den Wünschen unserer Kunden.
PI hat heute mehr als 25 Jahre Erfahrung auf dem Gebiet der Piezosystem-Technik. Unser hochmotiviertes Team aus Physikern und Ingenieuren verfügt über die modernste Ausrüstung für Konstruktion, Produktion, Simulation und Test. Jeder Schritt, von der Herstellung des Piezo-Rohmaterials über die anspruchsvolle Sensorik und Regeltechnik bis zum Endtest des kompletten Systems, wird von uns kontrolliert. Diese vertikale Firmenstruktur gewährleistet eine effiziente Planung und Durchführung selbst anspruchsvollster Projekte.
Anwendungsbeispiele von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen:
· Metrologie
· Disk-Testsysteme
· Schreib- / Lesekopf-Testsysteme
· Spin-Stands
· NanoPositionierung
· Halbleiter-Testsysteme
· Mikrolithographie
· Wafer-Stepper
· Maskenpositionierung
· Präzisionsmechanik (z.B. Unrunddrehen, -bohren, -fräsen)
· Scanning-Interferometrie
· Oberflächenstrukturanalyse
· Scanning-Mikroskopie
· Autofokus-Systeme
· Bio-Technologie
· ...
Weitere Informationen zu Piezo-Nanopositioniersystemen und zur Funktion und Theorie von Piezo-Stelltechnik entnehmen Sie bitte dem Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".
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· Feinpositionierung des Objektivs mit Sub-nm-Auflösung
· Stellwege bis 100 µm
· Führungsgenauigkeit £ 30 µrad
· Schnelles Einschwingverhalten
P-720 und P-721 PIFOC Ò Nanopositioniersysteme sind schnelle und kompakte Stelleinheiten, die sich an die meisten Mikroskope anbauen lassen. Dazu werden sie zwischen Revolver und Objektiv geschraubt und bieten einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 100 µm mit Sub-Nanometer Auflösung (längere Stellwege siehe Modelle P-722 u. P-723, Seite 6). Der optische Strahlengang wird dadurch um nur 13 mm verlängert (zur Anpassung des Strahlengangs der anderen Objektive am Revolver sind Verlängerungsstücke verfügbar). PIFOCs Ò werden mit den Standardgewinden W0,8x1/36" ausgeliefert, andere Gewinde sind auf Wunsch lieferbar.
Die Modelle P-720.00 / P-721.00 sind für Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen, z.B. für Tracking-Anwendungen, bei denen die Position von der Information eines externen Sensors bestimmt wird (z.B. optischer Wegsensor, CCD Kamera etc.). Für höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis sollten die Versionen P-721.10 oder P-721.20 mit integrierten hochauflösenden Positionssensoren (LVDT oder kapazitiv) eingesetzt werden.
Abb. P720-1 P-720 und P-721.10 Objektiv-Nanopositioniersystem
Abb. P720micro P-720.00 an einem Mikroskop-Revolver
Abb. P720 P-720.00 Abmessungen
Abb. P721-10 P-721.00, P-721.10 Abmessungen
Abb. P721-20 P-721.20 Abmessungen
Anwendungsbeispiele: Scanning-Interferometrie, Oberflächenstrukturanalyse, Disk-Drive-Testsysteme, Autofokus-Systeme, konfokale Mikroskopie, Bio-Technologie, Halbleiter-Testsysteme.
Funktionsprinzip: PIFOC Ò Systeme sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und bieten höchste Auflösung und Führungsgenauigkeit.
Hochauflösende Piezosteuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Sonderausführungen auf Anfrage!
Bestellinformation:
P-720.00 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 100 µm, W0,8 X1/36"
P-721.00 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 100 µm, W0,8 X1/36"
P-721.07 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 100 µm, Gewinde spezifizieren (P-721.01 - .08)
P-721.10 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 100 µm, LVDT-Sensor, W0,8 X1/36",
P-721.17 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 100 µm, LVDT-Sensor, Gewinde spezifizieren (P-721.01 - .08)
P-721.20 Objektiv-Z-Feinsteller, 100 µm, kapazitiver Sensor, W0,8 X1/36",
Optionale Gewinde für P-721.07 und P-721.17:
P-721.01 Gewinde M25 x 0,75 für P-721.07/17
P-721.02 Gewinde M26 x 0,75 für P-721.07/17
P-721.03 Gewinde M27 x 0,75 für P-721.07/17
P-721.04 Gewinde M28 x 0,75 für P-721.07/17
P-721.05 Gewinde M32 x 0,75 für P-721.07/17
P-721.06 Gewinde M26 x 1/36" für P-721.07/17
P-721.08 Gewinde M19 x 0,75 für P-721.07/17
P-721.90 Objektiv-Verlängerungsstück für Pifoc Z-Aktuator, 13 mm, Gewinde W0,8x1/36"
P-721.91 Objektiv-Verlängerungsstück für Pifoc Z-Aktuator, 13 mm, Gewinde M25 x 0,75
P-721.92 Objektiv-Verlängerungsstück für Pifoc Z-Aktuator, 13 mm, Gewinde M26 x 0,75
P-721.93 Objektiv-Verlängerungsstück für Pifoc Z-Aktuator, 13 mm, Gewinde M27 x 0,75
P-721.94 Objektiv-Verlängerungsstück für Pifoc Z-Aktuator, 13 mm, Gewinde M28 x 0,75
P-721.95 Objektiv-Verlängerungsstück für Pifoc Z-Aktuator, 13 mm, Gewinde M32 x 0,75
P-721.96 Objektiv-Verlängerungsstück für Pifoc Z-Aktuator, 13 mm, Gewinde M26 x 1/36"
P-721.98 Objektiv-Verlängerungsstück für Pifoc Z-Aktuator, 13 mm, Gewinde M19 x 0,75
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· Feinpositionierung des Objektivs mit nm-Auflösung
· Stellwege bis 350 µm
· Präzisionsführungssystem
P-722 und P-723 PIFOC Ò Nanopositioniersysteme sind schnelle und kompakte Stelleinheiten, die sich an die meisten Mikroskope anbauen lassen. Dazu werden sie zwischen Revolver und Objektiv geschraubt und bieten einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 350 µm mit Nanometer-Auflösung (kleinere Stellwege siehe Modelle P-720 u. P-721, Seite 4). Der optische Strahlengang wird dadurch um nur 13 mm verlängert (zur Anpassung des Strahlengangs der anderen Objektive am Revolver sind Verlängerungsstücke verfügbar). PIFOCs Ò werden mit den Standardgewinden W0,8x1/36" ausgeliefert, andere Gewinde sind auf Wunsch lieferbar.
Die Modelle P-722.00 / P-723.00 sind für Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen, z.B. für Tracking-Anwendungen, bei denen die Position von der Information eines externen Sensors bestimmt wird (z.B. optischer Wegsensor, CCD Kamera etc.). Für höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis sollten die Versionen mit integrierten LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) Positionssensoren eingesetzt werden.
Abb. P722 P-722 Objektiv-Nanopositioniersystem
Abb. P722-3 P-722, P-723 Abmessungen
Anwendungsbeispiele: Scanning-Interferometrie, Oberflächenstrukturanalyse, Disk-Drive-Testsysteme, Autofokus-Systeme, konfokale Mikroskopie, Bio-Technologie, Halbleiter-Testsysteme.
Funktionsprinzip: PIFOC Ò Systeme sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und bieten höchste Auflösung und Führungsgenauigkeit.
Hochauflösende Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Sonderausführungen auf Anfrage!
Bestellinformation:
P-722.00 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 200 µm, Gewinde W0,8 X1/36"
P-722.07 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 200 µm, Gewinde spezifizieren (P-722.01 - .08)
P-722.10 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 200 µm, LVDT, W0,8x1/36"
P-722.17 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 200 µm, LVDT, Gewinde spezifizieren (P-722.01 - .08)
P-723.00 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 350 µm, Gewinde W0,8x1/36"
P-723.07 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 350 µm, Gewinde spezifizieren (P-722.01 - .08)
P-723.10 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 350 µm, LVDT, W0,8x1/36"
P-723.17 PIFOC Objektiv-Z-Feinsteller, 350 µm, LVDT, Gewinde spezifizieren (P-722.01 - .08)
Optionale Gewinde für P-722.07/17 u. P-723.07/17:
P-722.01 Gewinde M25x0,75 für P-722.07/17, P-723.07/17
P-722.02 Gewinde M26x0,75 für P-722.07/17, P-723.07/17
P-722.03 Gewinde M27x0,75 für P-722.07/17, P-723.07/17
P-722.04 Gewinde M28x0,75 für P-722.07/17, P-723.07/17
P-722.05 Gewinde M32x0,75 für P-722.07/17, P-723.07/17
P-722.06 Gewinde M26x1/36" für P-722.07/17, P-723.07/17
P-722.08 Gewinde M19x0,75 für P-722.07/17, P-723.07/17
Objektiv-Verlängerungsstücke: siehe P-720/P-721, Seite 5
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· Kompakte Bauform
· 80 µm Stellweg
· Auflösung < 10 nm
· Schnelles Ansprechverhalten (1 kHz Resonanzfrequenz)
P-780 Piezo-Nanopositioniersysteme sind kompakte und schnelle Einheiten, die einen Positionier- und Scanbereich von 80 µm mit Einschwingzeiten von wenigen Millisekunden bieten. Sie wurden besonders für Anwendungen mit kleinen Massen (< 100 g) entwickelt. P-780.00 ist für Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen. Für höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis sollte die Version P-780.20 mit integriertem hochauflösenden LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) Positionssensor eingesetzt werden.
Anwendungsbeispiele: Metrologie, NanoPositionierung, Scanning-Mikroskopie, Disk-Drive-Testsysteme, Faseroptik, Scanning-Interferometrie, Bio-Technologie, Mikromanipulatoren.
Funktionsprinzip: P-780 Systeme sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Ein integrierter LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) Sensor sorgt für Nanometer-Auflösung und -Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezo-Elektronik).
Bestellinformation:
P-780.00 Miniatur Präzisions-Lineartisch mit Piezoantrieb, 80 µm
P-780.20 Miniatur- Präzisions-Lineartisch mit Piezoantrieb, 80 µm, LVDT-Sensor
Hochauflösende Piezo-Steuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Abb. P780 P-780 Nanopositioniersystem
Abb. P780 P-780 Piezotisch Abmessungen
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· Ideal für Disk-Drive-Testsysteme
· Schnelles Ansprechverhalten (3 kHz Resonanzfrequenz )
· Höchste Führungsgenauigkeit (1 µrad)
· Auflösung < 0,1 nm
P-752 Piezo-Nanopositioniersysteme sind kompakte und schnelle Einheiten, die einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 30 µm, extrem schnelles Einschwingverhalten und höchste Führungsgenauigkeit bieten. Sie wurden speziell für Disk-Drive-Testsysteme entwickelt (optimaler Betrieb bei Massen mit wenigen 100 g) und sind mit kapazitiven Positionssensoren ausgerüstet, die höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis ermöglichen.
Das aufwendige Design zur Minimierung der bewegten Massen bewirkt eine signifikante Reduktion der Momente auf die tragende Struktur und verbessert dadurch Einschwingverhalten und Stabilität des Gesamtsystems, was bei Anwendungen in der Produktion eine erhebliche Zeiteinsparung ermöglicht. Bei Betrieb mit dem NanoAutomation-Controller E-612 (Kapitel "Piezo-Elektronik" ) schwingt ein mit 300 g Masse bestückter P-752.1C in weniger als 17 ms auf 2 nm ein.
Anwendungsbeispiele: Disk-Drive-Testsysteme, Metrologie, NanoPositionierung, Scanning-Mikroskopie, Faseroptik, Scanning-Interferometrie, Bio-Technologie, Mikromanipulatoren.
Funktionsprinzip: P-752 Systeme sind mit piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Der integrierte kapazitive Sensor sorgt für Sub-Nanometer-Auflösung und -Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezo-Elektronik).
Bestellinformation:
P-752.1C Miniatur Präzisions-Lineartisch mit Piezoantrieb, 15 µm, kapazitiver Sensor
P-752.21C Miniatur Präzisions-Lineartisch mit Piezoantrieb, 30 µm, kapazitiver Sensor
Hochauflösende Piezosteuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Abb. xx,P752-1C P-752.1C Nanopositioniersystem
Abb. P752-1C P-752.1C Piezotisch Abmessungen
Abb. P752-21C P-752.21C Piezotisch Abmessungen
Abb. P752-res P-752.1C Ansprechverhalten eines P-752.1C PZT-Tisch bei Rechteckansteuerung mit 3 nm Amplitude. Die Sub-nm-Auflösung, Stabilität und bidirektionale Wiederholbarkeit sind deutlich zu sehen. (Steuerelektronik: E-501.00, E-503.00, E-509.C1; Servoreglereinstellung: 240 Hz Bandbreite, 2 ms Einschwingzeit)
Abb. P752-tilt Die typische bidirektionale Führungsgenauigkeit von 1 µrad ermöglicht bei Anwendungen in der Produktion eine erhebliche Zeiteinsparung, weil hochpräzise Prozesse in beiden Stellrichtungen durchgeführt werden können.
Sonderausführungen auf Anfrage!
· Neuartige Konstruktion: Stelltisch und Aktor
· Kompakte Bauform
· Integriertes Präzisionsführungssystem
· Auflösung < 0,1 nm
· Schnelles Ansprechverhalten
P-753 LISA (Linear Stage Actuator) Nanopositioniersysteme sind kompakte Einheiten, die einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 38 µm, extrem schnelles Einschwingverhalten und höchste Führungsgenauigkeit bieten. LISA Systeme kombinieren die kompakten Abmessungen eines Piezo-Stapeltranslators mit den Präzisionsführungseigenschaften eines Tisches mit Festkörpergelenken. Sie können deshalb als Linear-Aktoren und als Präzisionsstelltische eingesetzt werden. P-753 Systeme sind mit kapazitiven Positionssensoren ausgerüstet, die höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis ermöglichen.
Das aufwendige Design zur Minimierung der bewegten Massen bewirkt eine signifikante Reduktion der Momente auf die tragende Struktur und verbessert dadurch Einschwingverhalten und Stabilität des Gesamtsystemes, was bei Anwendungen in der Produktion eine erhebliche Zeiteinsparung ermöglicht.
Anwendungsbeispiele: Disk-Drive-Testsysteme, Metrologie, NanoPositionierung, Scanning-Mikroskopie, Faseroptik, Scanning-Interferometrie, Bio-Technologie, Mikromanipulatoren etc.
Funktionsprinzip: P-753 Systeme sind mit piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Der integrierte kapazitive Sensor sorgt für Sub-Nanometer-Auflösung und -Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezo-Elektronik).
Bestellinformation:
P-753.11C LISA Piezo-Tisch, 12 µm, kapazitiver Sensor
P-753.21C LISA Piezo-Tisch, 25 µm, kapazitiver Sensor
P-753.31C LISA Piezo-Tisch, 38 µm, kapazitiver Sensor
Hochauflösende Piezo-Steuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Abb. P753-11C P-753 LISA Nanopositioniersystem
Abb. P753-11C P-753.11C Piezotisch Abmessungen
Abb. P753-21C P-753.21C Piezotisch Abmessungen
Abb. P753-31C P-753.31C Piezotisch Abmessungen
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· 1 nm Führungsgenauigkeit
· Auflösung < 1 nm
· Schnelles Ansprechverhalten
· Stellweg 75 µm
· 10 kg Belastbarkeit
P-750 Piezo-Nanopositioniersysteme sind für einachsige Stellbewegungen mit höchster Führungsgenauigkeit ausgelegt. Sie bieten einen Positionier- und Scanbereich von 75 µm mit Einschwingzeiten von wenigen Millisekunden. P-750.00 ist für Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen. Die Versionen P-750.10 und P-750.20 sind mit integrierten LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) bzw. kapazitiven Positionssensoren ausgerüstet, die höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis ermöglichen.
Anwendungsbeispiele: Metrologie, Disk-Drive-Testsysteme, Wafer-Stepper, Halbleiter-Testsysteme.
Funktionsprinzip: P-750 Systeme sind mit piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Integrierte Sensoren (LVDT oder kapazitiv) sorgen für höchste Auflösung und Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezo-Elektronik).
Bestellinformation:
P-750.00 Piezoelektrischer Präzisions Nano-Stelltisch, 75 µm
P-750.10 Piezoelektrischer Präzisions Nano-Stelltisch, 75 µm, LVDT-Sensor
P-750.20 Piezoelektrischer Präzisions Nano-Stelltisch, 75 µm, kapazitiver Sensor
Hochauflösende Piezosteuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Abb. P750 P-750.10 Nanopositioniersystem
Abb. P750-10 P-750 Piezotisch Abmessungen
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· Zum XY-Positionieren und -Scannen
· 100 x 100 µm u. 50 x 50 µm Versionen
· 50 x 50 mm freier Durchgang
· Auflösung < 1 nm
· Flache Bauform
Die monolithischen P-730 und P-731 Kreuztisch-Piezosysteme sind schnelle und hochpräzise XY-Tische, die einen Positionier- und Scanbereich von bis zu 100 x 100 µm mit Sub-Nanometer Auflösung bieten. P-730.00 und P-731.00 sind für Positionierungen im offenen Regelkreis vorgesehen. Die Versionen mit der Endnummer .10 und .20 sind mit integrierten LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) und kapazitiven Positionssensoren ausgerüstet, die höchste Genauigkeit, Linearität und Wiederholbarkeit im geschlossenen Regelkreis ermöglichen.
Der 50 x 50 mm große Durchgang der Systeme ist ideal für Durchlichtanwendungen wie z.B. Nahfeld-Mikroskopie, konfokale Mikroskopie oder Maskenpositionierung.
Anwendungsbeispiele: Scanning-Mikroskopie, Halbleiter-Testsysteme, Präzisionsmasken- und Wafer-Positionierung, Scanning-Interferometrie, Oberflächenstrukturanalyse, Bio-Technologie, Mikromanipulatoren,
Funktionsprinzip: P-730 und P-731 Systeme sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Integrierte Sensoren (LVDT oder kapazitiv) sorgen für hervorragende Auflösung und Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezo-Elektronik).
Bestellinformation:
P-730.00 Präzisions-Piezo-Kreuztisch Nanostellsystem 50 x 50 µm
P-730.10 Präzisions-Piezo-Kreuztisch Nanostellsystem, 50 x 50 µm, LVDT-Sensor
P-730.20 Präzisions-Piezo-Kreuztisch Nanostellsystem, 50 x 50 µm, kapazitiver Sensor
P-731.00 Präzisions-Piezo-Kreuztisch Nanostellsystem, 100 x 100 µm
P-731.10 Präzisions-Piezo-Kreuztisch Nanostellsystem, 100 x 100 µm, LVDT-Sensor
P-731.20 Präzisions-Piezo-Kreuztisch Nanostellsystem, 100 x 100 µm, kapazitiver Sensor
Hochauflösende Piezo-Steuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Abb. P730-1 P-731.20 Nanopositioniersystem
Abb. P730-1 P-730, P-731 Piezotisch Abmessungen
Sonderausführungen auf Anfrage!
© 1998 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co
· Zum XY-Positionieren und -Scannen
· 200 x 200 mm freier Durchgang
· 200 x 200 µm Stellweg
· Auflösung < 50 nm
· Präzisionsführungssystem
P-770 ist ein hochpräzises monolithisches XY-Positionier- und Scansystem, das einen Stellbereich von 200 x 200 µm mit einer Auflösung von besser als 50 nm bietet. In Verbindung mit dem 200 x 200 mm großen Durchgang ist das System ideal für Durchlichtanwendungen in der Halbleitertechnik.
Anwendungsbeispiele: Metrologie, NanoPositionierung, Halbleiter-Testsysteme, Präzisionsmasken- und Wafer-Positionierung, Scanning-Interferometrie, Oberflächenstrukturanalyse.
Funktionsprinzip: P-770 Positionierer sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Integrierte LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) Sensoren sorgen für hohe Auflösung und Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezo-Elektronik).
Bestellinformation:
P-770.00 XY-Piezo-Nanopositioniersystem, 200 x 200 µm, LVDT-Sensor
Hochauflösende Piezo-Steuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Abb. P770 P-770 Nanopositioniersystem
Abb. P770 P-770 Piezotisch Abmessungen
Sonderausführungen auf Anfrage!
· Integriertes Präzisionsführungssystem
· 1- bis 6-Achsenausführungen
· Stellwege bis 200 µm (pro Achse)
· Freier Durchgang 66 x 66 mm
· Integrierte kapazitive Positionssensoren
· Versionen mit aktiver Führung
Die Piezo-Nanopositioniersysteme (PZT-Tische) der Serie P-500 sind hochauflösende, piezoelektrisch angetriebene Mehrachsen-Systeme zum Positionieren und Scannen. Kreuztische, XYZ-Tische und Rotationstische mit Linearstellbereichen von bis zu 200 x 200 x 10 µm und Rotationsbereichen bis zu ± 2 mrad sind verfügbar. Der 66 x 66 mm große Durchgang ist ideal für Durchlichtanwendungen wie z.B. Nahfeld-Mikroskopie, konfokale Mikroskopie oder Maskenpositionierung. Der geringe Preis und die Vielseitigkeit der P-500 Serie basiert auf ihrem einzigartigen modularen Konzept.
Die extreme Führungsgenauigkeit der Version P-527.6C (gesonderte Information anfordern) wird durch eine integrierte aktive Sechs-Achsen-Fehlerkompensation erreicht, die selbst geringste Führungsfehler erkennt und bis in den Sub-nm- und Sub-µrad-Bereich eliminiert.
Anwendungsbeispiele: Metrologie, Mikrolithographie , NanoPositionierung, Scanning-Mikroskopie, Disk-Drive-Testsysteme, Optik, Lasertechnik, Mikrobearbeitung.
Funktionsprinzip: P-500 Systeme sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Integrierte kapazitive Sensoren sorgen für Sub-Nanometer-Auflösung und -Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezo-Elektronik).
Bestellinformation:
P-517.2CL XY-Piezo-Kreuztisch, 100 x 100 µm, Kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
P-517.2CD XY-Piezo-Kreuztisch, 100 x 100 µm, Kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
P-517.3CL XYZ-Piezo-Nano-Stelltisch, 100 x 100 x 10 µm, Kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
P-517.3CD XYZ-Piezo-Nano-Stelltisch, 100 x 100 x 10 µm, Kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
P-517.RCD XYqZ-Piezo-Nano-Stelltisch, 100 x 100 x ±1 mrad, Kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
P-527.2CL XY-Piezo-Kreuztisch, 200 x 200 µm, Kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
P-527.2CD XY-Piezo-Kreuztisch, 200 x 200 µm, Kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
P-527.3CL XYZ-Piezo-Nano-Stelltisch, 200 x 200 x 10 µm, Kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker
P-527.3CD XYZ-Piezo-Nano-Stelltisch, 200 x 200 x 10 µm, Kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
P-527.RCD XYqZ-Piezo-Nano-Stelltisch, 200 x 200 x ±2 mrad, Kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker
Hochauflösende Piezosteuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Abb. P527 P-527.2CL Nanopositioniersystem
Abb. P527 P-517, P-527 Piezotisch Abmessungen
Sonderausführungen auf Anfrage!
© 1998 Physik
Instrumente (PI) GmbH & Co
· 1-, 2-, 3- und 5-Achsenausführungen
· Kompaktes Design
· 20 x 20 mm freier Durchgang
· Stellweg 100 µm, Kippwinkel bis 3,4 mrad
Nanopositioniersysteme der Serie P-762 sind kompakte, piezoelektrisch angetriebene Einheiten zum Positionieren und Scannen. Die folgenden Versionen sind verfügbar: X, Z, XY, XYZ, ZQXQY und XYZQXQY.
Alle Versionen, bis auf die Z- und XYZ-Versionen, haben einen 20 x 20 mm großen Durchgang. Der XY-Kreuztisch besteht aus einem X-Modul und einem leicht modifizierten Y-Modul. Das Z-Modul ist mit 3 elektrisch parallel betriebenen Piezostapeln ausgerüstet, die in einem Dreieck angeordnet sind. Alle drei Stapel sind auf möglichst gleiche Auslenkung hin ausgesucht. Ein Positionssensor im Zentrum des Dreiecks sorgt für optimale Stabilität. Das ZQXQY-Modul erlaubt die individuelle Kontrolle jedes einzelnen Piezos, wobei die Auslenkung von drei Sensoren gemessen wird. Zur Berechnung der Kippwinkel siehe Zeichnung xx.
Die XYZ-Version besteht aus einem Z-Modul, das auf einem XY-Modul montiert ist. Die XYZQXQY-Version besteht aus einem ZQXQY-Modul, das auf einem XY-Modul montiert ist.
Anwendungsbeispiele: Integrierte Optik, Faserpositionierung, Halbleiter-Testsysteme, Scanning-Interferometrie, Disk-Drive-Testsysteme, Oberflächenstrukturanalyse, konfokale Mikroskopie, Bio-Technologie, Mikromanipulatoren.
Funktionsprinzip: P-762 Systeme sind mit wegübersetzten piezoelektrischen Niedervolt-Linearaktoren ausgerüstet (0 bis 100 V), die in ein Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Führungsgenauigkeit. Integrierte LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) Sensoren sorgen für Nanometer-Auflösung und -Stabilität im positionsgeregelten Betrieb (mit PI-Piezo-Elektronik).
Bestellinformation:
P-762.1L Piezo-Lineartisch, 100 µm, LVDT-Sensor
P-762.2L XY-Piezo-Kreuztisch, 100 x 100 µm, LVDT-Sensor
P-762.3L XYZ-Piezo-System, 100 x 100 x 100 µm, LVDT-Sensor
P-762.ZL Z-Piezo-Piezo-Hubtisch, 100 µm, LVDT-Sensor
P-762.TL ZqXqY-Piezo-Nano-Lineartisch, 100 µm, ±1,7 mrad, ±2,6 mrad, LVDT-Sensor
P-762.5L XYZqXqY-Piezo-Nano-Lineartisch, 100 x 100 x 100 µm, ±1,7 mrad, ±2,6 mrad, LVDT-Sensor
Hochauflösende Piezo-Steuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Sonderausführungen auf Anfrage!
Abb. P762-1L P-762.1L Nanopositioniersystem
Abb. P762-2L P-762.2L XY-Nanopositioniersystem
Abb. P762-5L P-762.5L XYZ-QX-QY- Nanopositioniersystem
Abb. P762-1L P-762.1L Abmessungen (innerer Rahmen bewegt sich)
Abb. P762-2L P-762.2L Abmessungen (äußerer Rahmen bewegt sich)
Abb. P762-ZL P-762.ZL Abmessungen
Abb. P762-TL P-762.TL Abmessungen
Abb. P762TZ5PZT Piezo-Positionen in den PZT-Tischen P-762.TL, P-762.5L, P-762.ZL, P-762.3L (.ZL und .3L ohne 20 x 20 Durchgang, ein gemeinsames Spannungskabel)
Abb. P762-T5sen Sensor-Positionen im P-762.TL, P-762.5L
Abb. P762-3L P-762.3L Abmessungen
Abb. P762-5L P-762.5L Piezotisch Abmessungen
· Kompakte Bauweise
· Stellwege bis 100 µm
· XY- und XYZ-Kombinationen
Die P-280 PZT-Tische sind kompakte und preisgünstige Einheiten, die mit einem Positionier- und Scanbereich von 30, 50 und 100 µm verfügbar sind. Zur optimalen Anpassung an die jeweiligen Anforderungen können die Systeme vertikal und horizontal montiert werden.
Anwendungsbeispiele: NanoPositionierung, biomedizinische Anwendungen, Patch-Clamp, Faserpositionierung.
Funktionsprinzip: P-280 Positionierer sind mit Hochvolt-Piezo-Kontraktoren ausgerüstet (0 bis -1000 V), die in ein Parallelogramm-Führungssystem mit Festkörpergelenken integriert sind. Die reibungsfreien, drahterodierten Gelenke wurden per FEM-Analyse optimiert und ermöglichen höchste Auflösung.
P-280 Positionierer können zu XY-und XYZ-Systemen kombiniert werden (s. Seite 18). Die Kabelausgangspositionen können zur optimalen Anpassung an die jeweilige Anwendung bei der Bestellung spezifiziert werden (A, B oder C wie in Zeichnung xx dargestellt). Falls nicht anders angegeben, wird Kabelposition A ausgeliefert. Eine Distanzplatte zur Montage ist im Lieferumfang enthalten.
Bestellinformation:
P-280.10 Piezo-Nano-Lineartisch, 30 µm
P-280.20 Piezo-Nano-Lineartisch, 50 µm
P-280.30 Piezo-Nano-Lineartisch, 100 µm
Hochauflösende Piezo-Steuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Abb. P280 P-280 Nanopositioniersystem
Abb. P280 P-280 Piezotisch Abmessungen
Sonderausführungen auf Anfrage!
· Preisgünstige XZ- (XY) u. XYZ-Positionierer
· Stellwege bis 100 x 100 x 100 µm
P-281.xx und P-282.xx sind Zwei- und Dreiachsen-Nanopositioniersysteme, die auf Kombinationen von P-280.xx Systemen basieren (siehe Abb. xx). P-281.xx und P-282.xx sind in drei verschiedenen Größen mit Stellwegen von 30, 50 und 100 µm verfügbar.
Die P-282 XYZ-Ausführungen können leicht zusammengesetzt werden. Dazu wird der unterste Positionierer (X) zuerst festgeschraubt, danach die Z-Achse und zuletzt die Y-Achse aufmontiert. Die P-281 Ausführungen können als XZ-(Abb. xx) und XY-Kreuztische montiert werden.
Abb. P281-20 P-281.20 XZ-Nanopositioniersystem
Abb. P282-xx P-282.30 (l), P-282.20 (m), P-282.30 XYZ (r)
Abb. xx P282Assy Zusammenbau von P-282.xx.
Optionen:
P-705.00 Positive Polarität, s. Seite Fehler! Textmarke nicht definiert.
Hochauflösende Piezo-Steuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Sonderausführungen auf Anfrage!
· Vertikaler Stellweg bis 700 µm
· Kippwinkel bis 0,7 Grad
· Konstruktion aus unmagnetischem Stahl
P-287 ist ein hochauflösendes, piezoelektrisch angetriebenes Stellsystem. Es bietet einen Kippbereich von bis zu 12 mrad und einen vertikalen Stellweg von bis zu 700 µm (am gegenüberliegenden Ende des Drehgelenkes). Eine halbkugelförmige Senkung in der Stellplattform dient bei Anwendungen als Linearantrieb zur Entkopplung der Drehbewegung. In diesem Fall wird ein externes Führungssystem empfohlen (z.B. reibungsfreie Membranfeder).
Anwendungsbeispiele: Wafer-Inspektion, NanoPositionierung, Medizintechik, Bio-Technologie, Optik.
Funktionsprinzip: P-287 Positionierer sind mit einem Hochvolt-Piezoantrieb ausgerüstet (0 bis -1000 V), dessen Kraft ein reibungsfreies, drahterodiertes Drehgelenk bewegt. Die lineare Stellbewegung des Piezoantriebes bewirkt eine Rotation der Stellplattform und damit eine Vervielfachung des Stellweges.
Niedervoltausführungen des P-287 sind auf Anfrage verfügbar.
Bestellinformation:
P-287.70 Vertikal- und Kipp-Nanopositioniersystem, 12 mrad, 700 µm
Optionen (ab Werk):
P-703.20 UHV Option, s. Seite Fehler! Textmarke nicht definiert.
P-705.00 Positive Polarität, s. Seite Fehler! Textmarke nicht definiert.
Hochauflösende Piezo-Steuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Abb. P287 P-287.70 Nanopositioniersystem
Abb. P287 P-287.70 Piezotisch Abmessungen
Sonderausführungen auf Anfrage!
· Stellweg 1000 µm
· Integrierte Doppel-Hebelübersetzung
· Edelstahlaufbau
P-290 ist ein piezoelektrisch angetriebenes Positioniersystem mit einem Stellweg von 1000 µm. Es ist ideal für hochauflösende Stellanwendungen mit geringer Dynamik geeignet.
Anwendungsbeispiele: Wafer-Inspektion, NanoPositionierung, Medizintechik, Bio-Technologie, Optik.
Funktionsprinzip: Die Stellplattform des P-290 wird von einem piezoelektrischen Antrieb bewegt. Der Antrieb besteht aus zwei "gestapelten" Kipp-Positionierern mit Festkörpergelenken (ähnlich P-287), die aus einem Edelstahlblock herausgearbeitet sind. Jeder der beiden Kipp-Positionierer ist mit einem Hochvolt-Piezo-Translator ausgerüstet (0 bis -1000 V), der in ein reibungsfreies, drahterodiertes Hebelübersetzungssystem integriert ist. Zur besseren Geradführung wird die Stellplattform durch zwei Linearkugellager geführt.
Bestellinformation:
P-290.00 Piezoelektrischer Makro-Translator, 1000 µm
Optionen:
P-705.00 Positive Polarität, s. Seite Fehler! Textmarke nicht definiert.
Hochauflösende Piezo-Steuerungen, Verstärker u. Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel "Piezo-Elektronik".
Abb. P290 P-290 Makro-Translator (Z-Tisch)
Abb. P290 P-290 Z-Piezotisch Abmessungen
Sonderausführungen auf Anfrage!
A2 Stellweg bei 0 bis 100 V
Typischer Stellweg im offenen Regelkreis bei 0 bis +100 V Betriebsspannung.
Max. Betriebsspannungsbereich kurzzeitig: -20 bis +120 V (s. a. "Piezo-Link1"
im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren").
A4 Stellweg bei 0 bis -1000 V
Typischer Stellweg im offenen Regelkreis bei 0 bis -1000 V Betriebsspannung.
Spannungen über -750 V sollten nicht für längere Zeit angelegt werden. Der
Betrieb im Bereich von +200 bis -750 V wird für max. Lebensdauer empfohlen (s.
a. "Piezo-Link1" im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren
mit Piezoelektrischen Aktuatoren").
A5 Stellweg (geregelt)
Typischer Stellweg im geschlossenen Regelkreis. PI-LVPZT-Verstärker haben einen
Ausgangsspannungsbereich von -20 bis +120 V, um genügend Regelreserve für
Lastschwankungen etc. zu bieten.
B Integrierter Positionssensor
Absolut messende kapazitive Sensoren und LVDT- (induktive) Sensoren werden
eingesetzt, um die Positionsinformation an den Controller zurückzumelden (s. a.
"Piezo-Link1" im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit
Piezoelektrischen Aktuatoren").
C0 Auflösung
Die Auflösung der PI-Piezo-Systeme ist grundsätzlich unbegrenzt,
weil sie nicht durch Haft- oder Gleitreibung limitiert wird. Statt dessen wird
das Positionsrauschen spezifiziert. Die Werte sind typische Meßergebnisse (RMS,
1 s),
gemessen mit dem E-507 Verstärkermodul im E-500/501 System.
C1 Auflösung (geregelt /
ungeregelt)
Die Auflösung der PI-Piezo-Systeme ist grundsätzlich unbegrenzt,
weil sie nicht durch Haft- oder Gleitreibung limitiert wird. Statt dessen wird
das Positionsrauschen spezifiziert. Die Werte sind typische Meßergebnisse (RMS,
1 s),
gemessen mit dem E-503 Verstärkermodul im E-500/501 System.
C3 Wiederholbarkeit (typ.)
Typische Werte im geschlossenen Regelkreis. Die Wiederholbarkeit ist vom
tatsächlich verstellten Weg abhängig. Bei kleinen Stellwegen ist die
Wiederholbarkeit bedeutend besser.
D1 Steifigkeit
Statische Großsignalsteifigkeit des Systems in Stellrichtung bei Raumtemperatur
mit 0 V Betriebsspannung. Die Kleinsignalsteifigkeit und dynamische Steifigkeit
können sich, bedingt durch die Kombination verschiedener Materialien und durch
Effekte, die durch die aktive Natur des Piezomaterials hervorgerufen werden,
deutlich unterscheiden (s. a. "Piezo-Link1" im Kapitel "Tutorium:
NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren").
D3 Druck- / Zugbelastbarkeit (in
Stellrichtung)
Spezifiziert die maximale Kraft, die in das System eingeleitet werden darf.
Wird durch die Piezokeramik und die Festkörpergelenke begrenzt. Größere Kräfte
können die Piezokeramik, die Festkörpergelenke oder den Sensor beschädigen. Die
maximalen Kräfte müssen auch bei dynamischen Anwendungen beachtet werden.
Beispiel: die dynamischen Kräfte bei sinusförmigem Betrieb mit 500 Hz, 20 µm Amplitude und 1 kg bewegter Masse betragen ungefähr ±100 N (s. a. "Piezo-Link1" im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren").
D4 Max. Belastbarkeit
Maximale Belastbarkeit vertikal zur Stellrichtung (wenn das Stellsystem
waagerecht montiert ist). Wird durch die Festkörpergelenke oder die
Belastbarkeit der Piezokeramik begrenzt.
D5 Max. Querkraft
Die maximal zulässige Kraft orthogonal zur Stellrichtung. Wird durch die
Festkörpergelenke oder die Belastbarkeit der Piezokeramik begrenzt. Bei
XY-Systemen ist die Druck- / Zugbelastbarkeit (in Stellrichtung) gleich der
maximalen Querkraft.
E1 Verkippung (typ.)
Typischer Verkippungsfehler.
E2 Führungsgenauigkeit (X/Y/Z)
Typische lineare Seitenabweichung von der gewünschten Stellrichtung.
F1 Elektrische
Kapazität
Die Kapazitätswerte in den technische Daten sind Kleinsignalwerte (gemessen bei
1 V, 1000 Hz, 20° C, lastfrei; Großsignalwerte bei Raumtemperatur liegen 30 - 50%
höher). Die Kapazität von Piezokeramik ändert sich mit der Amplitude,
Temperatur und Last bis zu 200% des unbelasteten Kleinsignalwertes bei
Raumtemperatur. Weitere Informationen zum elektrischen Leistungsbedarf sind in
den Aussteuerkurven der einzelnen Verstärker im Kapitel
"Piezo-Elektronik" enthalten.
F2 Dynamischer
Strom-Koeffizient (DSK)
Durchschnittlicher elektrischer Strom (vom Verstärker), der benötigt wird, um
einen Piezo-Aktor pro Einheit Frequenz [Hz] und Auslenkung [µm] zu betreiben
(Sinusbetrieb, offener Regelkreis; bis 50 % mehr im geschlossenen Regelkreis).
Beispiel: Um herauszufinden, ob ein gewählter Verstärker einen Piezo-Aktor bei
100 Hz mit 5 µm Hub betreiben kann, muß der DSK mit 100 und 5 multipliziert
werden. Wenn das Resultat kleiner oder gleich dem Dauerstrom des gewählten
Verstärkers ist, eignet sich dieser für die Anwendung (s. a. "Kapitel"
im Kapitel "Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren").
G2 Resonanzfrequenz (ohne Last)
Die erste Resonanzfrequenz in Stellrichtung (ist nicht gleichbedeutend mit der
maximalen Betriebsfrequenz). S. a. "Piezo-Link1" im Kapitel
"Tutorium: NanoPositionieren mit Piezoelektrischen Aktuatoren".
G3 Resonanzfrequenz mit
Zusatzmasse
Die erste Resonanzfrequenz des belasteten Systems mit fest montierter
Zusatzmasse (ist nicht gleichbedeutend mit der maximalen Betriebsfrequenz).
H2 Betriebstemperaturbereich
Positionsgeregelte Systeme werden für optimale Genauigkeit bei Raumtemperatur
abgeglichen. Ein Neuabgleich ist empfehlenswert, wenn der Betrieb bei einer
deutlich höheren oder tieferen Temperatur stattfinden soll.
J1 Spannungsanschluß
Standardstecker für die Betriebsspannung sind LEMO-Stecker.
VL: Niedervolt (Voltage Low): LEMO
FFA.00.250, männlich. Koaxialkabel RG 178, Teflonisolation, 1 m.
VH: Hochvolt (Voltage High) LEMO FFA.0A.250, männlich. Koaxialkabel RG 174,
PVC-Isolation, 1 m.
D: D-Sub-Spezialstecker
Verlängerungskabel und Adapter finden Sie im Abschnitt "Zubehör" am Ende des Kapitel "Piezo-Elektronik".
J2 Sensoranschluß
Standardstecker für die Positionssensoren sind LEMO-Stecker.
C:
LEMO FFA.00.250, weiblich. Koaxialkabel LSM 75, Teflonisolation, 1 m.
L: LEMO FFA.0S.304, weiblich. Koaxialkabel, PUR-Isolation, 1 m.
D: D-Sub-Spezialstecker
Verlängerungskabel und Adapter finden Sie im Abschnitt "Zubehör" am Ende des Kapitel "Piezo-Elektronik".
K Masse (mit Kabeln)
L Gehäusematerial
PI-Piezo-Nano-Lineartische sind normalerweise aus eloxiertem Aluminium oder aus
Edelstahl (Sondermaterialien auf Anfrage). Geringe Anteile anderer Materialien
können intern verwendet werden (für Vorspannung, Ankopplung, Montage,
thermische Kompensation etc.).
Al: Aluminium.
N-S: unmagnetischer Edelstahl
S: ferromagnetischer Stahl
I: Invar
M Empfohlene
Verstärker/Controller
Siehe Tabelle am Ende des Kapitel "Piezo-Elektronik".
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© 1998 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co
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